案例：高壓功率放大器在復(fù)合材料線聚焦空耦超聲傳感器應(yīng)用

　　實驗名稱：基于氣體基壓電復(fù)合材料的線聚焦空耦超聲傳感器研制與應(yīng)用

　　研究方向：

　　目前，國內(nèi)外關(guān)于晶硅太陽能電池缺陷檢測的方法主要有：光致熒光法、電致發(fā)光法和超聲諧振技術(shù)等。采用光致熒光譜法，對比光致熒光信號的強度能充分反映出晶硅材料表面缺陷的深度。采用電致發(fā)光法辨別出了晶硅的內(nèi)部和外部缺陷，對裂紋、斷柵進行了識別和定位。提出了使用超聲諧振技術(shù)對全尺寸晶硅片進行缺陷檢測，通過諧振頻率的漂移量和帶寬來確定裂紋的尺寸。雖然利用上述方法能夠部分實現(xiàn)對晶硅材料不同類型缺陷的檢測，但由于相關(guān)檢測設(shè)備價格昂貴、檢測速度慢、檢測精度低等，導(dǎo)致這些方法很少被應(yīng)用到實際工程檢測之中。近年來，超聲導(dǎo)波技術(shù)逐漸成為了一種常用的無損檢測方法，因其具有檢測范圍大、檢測效率高等優(yōu)勢，被廣泛地應(yīng)用到了晶硅材料的缺陷檢測中。

　　實驗內(nèi)容：

　　制作氣體基線聚焦壓電復(fù)合材料的具體制備流程中的壓電復(fù)合材料是將壓電陶瓷柱涂覆環(huán)氧膠后填入樹脂基框架中常溫固化所得。采用精細研磨的工藝去除多余的壓電柱部分，使其上下表面均達到鏡面等級。采用濺射鍍膜的工藝對上下表面附著金屬電極，最后得到的氣體基線聚焦壓電復(fù)合材料實物。對制作出的氣體基線聚焦壓電復(fù)合材料進行清洗、引線，最終裝配成氣體基線聚焦空耦傳感器。其最小諧振頻率ｆｍ為１５０ｋＨｚ，最大諧振頻率ｆｎ為１７３ｋＨｚ，與仿真計算結(jié)果較為接近，且傳感器的中心頻率約為１５０ｋＨｚ。由此可計算出在傳感器的中心頻率下，聚焦聲場的ｄＬ和ｄＦ分別為１．８８ｍｍ和１０．４５ｍｍ，與仿真結(jié)果較為接近。為了測得氣體基線聚焦壓電復(fù)合材料的聲阻。

　　測試系統(tǒng)：

　　采用基于空耦超聲傳感器的Lamb波檢測技術(shù)，對有裂紋缺陷的單晶硅太陽能電池片進行非接觸式檢測。電池片基本結(jié)構(gòu)如圖１１所示，其尺寸為１２５ｍｍ×１２５ｍｍ×２２０μｍ。電池片上表面覆有一層減反射膜，減反射膜上表面有負電極，其中兩條較粗的平行電極為主電極，與其垂直的若干平行電極為柵電極，柵電極均與主電極相連，形成負電極。電池片內(nèi)單晶硅的上部分為Ｎ型區(qū)域，下部分為Ｐ型區(qū)域，Ｐ型區(qū)域下方覆有一層鋁膜作為正電極。

　　選擇空氣耦合超聲檢測系統(tǒng)為實驗系統(tǒng)，系統(tǒng)中運動平臺控制傳感器的移動和掃描，函數(shù)發(fā)生器AFG3021B負責(zé)產(chǎn)生激勵信號，高壓功率放大器ATA-2021B高壓放大器用于對激勵信號進行放大，DPO4054數(shù)字示波器負責(zé)激勵信號的顯示以及接收信號的采集，并最終送入計算機中進行數(shù)據(jù)處理和分析。

　　結(jié)論：

　?。ǎ保┩ㄟ^仿真分析與結(jié)構(gòu)建模，采用壓電柱切割、三維打印、精細研磨、濺射鍍膜等工藝實現(xiàn)了氣體基線聚焦壓電復(fù)合材料的制作，最終制得的傳感器具有低聲阻抗特性，更適用于空耦檢測環(huán)境；

　　（２）利用空耦Ｌａｍｂ波檢測技術(shù)，成功將氣體基線聚焦空耦傳感器應(yīng)用于單晶硅太陽能電池片裂紋缺陷的非接觸式檢測，并實現(xiàn)了對電池片中裂紋缺陷的定位。

　　圖：缺陷檢測實測信號                                    圖：接受信號與參考信號的相關(guān)系數(shù)

　　

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