前置微小信號(hào)放大器如何為MEMS傳感器測(cè)試提供激勵(lì)信號(hào)?
MEMS突出的優(yōu)點(diǎn)是利用微電子技術(shù)把傳感器、執(zhí)行器和處理電路這三部分集成在一起,組成單片集成傳感器或系統(tǒng),更可以實(shí)現(xiàn)傳感器芯片的大規(guī)模批量制造,已廣泛用于信息、汽車、消費(fèi)、工控等領(lǐng)域,并成為國際競(jìng)爭(zhēng)的戰(zhàn)略制高點(diǎn)。那么功率放大器如何為MEMS傳感器測(cè)試提供激勵(lì)信號(hào)呢?今天Aigtek安泰電子就為大家答疑解惑~
深究傳感器和MEMS的發(fā)展過程,二十世紀(jì)六十年代剛出現(xiàn)微加工器件,七十年代主要研究新的技術(shù)和擴(kuò)展應(yīng)用方面,八十年代系列生產(chǎn)更為復(fù)雜的器件,九十年代是集成敏感系統(tǒng)的發(fā)展,2000年以后無線微系統(tǒng)開始發(fā)展。
什么是MEMS傳感器?
傳感器是當(dāng)今數(shù)字世界的重要組成部分之一。由于所有的計(jì)算和處理都是在數(shù)字信號(hào)上完成的,因此在模擬世界和數(shù)字電子設(shè)備之間應(yīng)該有一個(gè)媒介。傳感器彌合了這一差距,因?yàn)樗鼈冇糜谟^察模擬物理參數(shù)的時(shí)間效應(yīng)并產(chǎn)生有意義的信息(對(duì)計(jì)算機(jī))。
傳感器的現(xiàn)代定義有時(shí)令人困惑,但簡(jiǎn)單來說,傳感器是一種包含基本傳感元件的設(shè)備,這些元件感測(cè)溫度或濕度等物理量并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。傳感器還由信號(hào)處理單元(如放大器、濾波器或ADC)或這些元件的組合組成。
不同類型的MEMS傳感器
MEMS技術(shù)的主要實(shí)施者之一是汽車行業(yè)。現(xiàn)代汽車使用大量傳感器,其中大多數(shù)是基于MEMS的設(shè)備。以下是現(xiàn)代汽車中使用的MEMS傳感器列表。
l加速度計(jì)–用于電子穩(wěn)定控制和安全氣囊展開。
l慣性測(cè)量單元或IMU(它們是MEMS加速度計(jì)和MEMS陀螺儀的組合)-用于測(cè)量自動(dòng)駕駛的偏航,俯仰和滾動(dòng)。
l磁力計(jì)–用于導(dǎo)航中使用的方向。
l壓力和慣性傳感器–用于制動(dòng)控制。
l壓力傳感器–胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。
l氣流傳感器–進(jìn)氣監(jiān)測(cè)。
l燃油傳感器–燃油液位指示器。
l碰撞和碰撞傳感器–碰撞檢測(cè)和安全氣囊展開。
lMEMS麥克風(fēng)–用于通信和降噪。
l溫度傳感器–用于自動(dòng)氣候控制和發(fā)動(dòng)機(jī)溫度監(jiān)控。
l還有許多其他基于MEMS的器件適用于各種應(yīng)用。
前置微小信號(hào)放大器如何為MEMS傳感器測(cè)試提供激勵(lì)信號(hào)?
確定MEMS傳感器的輸入規(guī)格:包括頻率、功率、阻抗等參數(shù)。
選擇合適的功率放大器類型:根據(jù)MEMS傳感器的需求,選擇適當(dāng)?shù)墓β史糯笃黝愋停贛EMS傳感器測(cè)試過程中我們常會(huì)用到ATA-5620前置微小信號(hào)放大器,來進(jìn)行信號(hào)的放大。
帶寬:(-3dB)1kHz~100MHz
電壓:2Vp-p(50Ω)
電壓增益:60dB
連接前置微小信號(hào)放大器和MEMS傳感器:將功率放大器的輸出端與MEMS傳感器的輸入端正確連接。
調(diào)整功率放大器的參數(shù):根據(jù)MEMS傳感器的需求,調(diào)整功率放大器的增益、輸出功率、輸出阻抗等參數(shù),以確保提供適當(dāng)?shù)募?lì)信號(hào)。
進(jìn)行測(cè)試:使用適當(dāng)?shù)臏y(cè)試儀器和軟件,對(duì)MEMS傳感器進(jìn)行測(cè)試,觀察其響應(yīng)和性能。
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