電感耦合等離子體是通過高頻磁場與等離子體的相互作用來傳遞能量的。在電感耦合的過程中，高頻電流通過螺線管產(chǎn)生高頻磁場，高頻磁場切 割等離子體產(chǎn)生渦旋電流，從而將能量傳遞給等離子體。電感耦合式等離子體清洗具有高效、無污染等優(yōu)點(diǎn)，可以簡化清洗工藝、減小環(huán)境污染。等 離子清洗的頻率一般選用40kHz或13.56MHz兩種頻率，其中13.56MHz 的頻點(diǎn)能量更高、穿透性更強(qiáng)。

射頻等離子體手術(shù)系統(tǒng)是一種新型的低溫等離子體手術(shù)系統(tǒng)，適用于 外科手術(shù)的各種軟組織解剖、切除，也能進(jìn)行消融、止血等相關(guān)治療。 射頻等離子體技術(shù)可以依靠 100kHz 或 440KHz 的高頻激發(fā)出等離 子體，采用雙極技術(shù)實(shí)現(xiàn)在40-70°C范圍內(nèi)對組織進(jìn)行消融切割和 凝血皺縮等功能。

等離子體射流在材料加工與改性、薄膜層積、納米顆粒制造、器械表面 洗消、生物組織結(jié)構(gòu)與功能恢復(fù)、微生物誘變育種等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng) 用。高電壓放電是獲得等離子體最普遍的途徑。在兩個(gè)電極之間施加 高電壓后產(chǎn)生一定的電場強(qiáng)度分布，其間的氣體被電離從而產(chǎn)生放電 等離子體。