MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)的不斷發(fā)展，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用在生物、航空、醫(yī)學(xué)、航天等多領(lǐng)域。MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)（Micro-electro Mechanical Systems），是指精密機械系統(tǒng)和微電子電路技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來的一項工程技術(shù)，它的尺寸一般在微米量級。

圖：MEMS微機電系統(tǒng)示意圖

　　MEMS傳感器想要成功主要看封裝技術(shù)，包括SIP（系統(tǒng)級封裝）、WLP（晶圓級封裝）、三維硅穿孔（TSV）等技術(shù)，采用三維堆疊技術(shù)，能夠把微型化后的傳感器機械部件和其他微電子組件集成，依據(jù)不同的應(yīng)用來選擇不同的封裝形式。

　　對于大部分的MEMS傳感器來說，想讓它正常使用和發(fā)揮功效，就要通過內(nèi)部可動微結(jié)構(gòu)在適當(dāng)范圍內(nèi)進行變形和位移來實現(xiàn)，所以對MEMS進行模態(tài)測試就要讓其振動，也就是需要進行激勵。

　　對于MESM模態(tài)測試的激勵方法包括磁激勵、熱激勵、靜電激勵、壓電激勵、聲激勵以及基于壓電陶瓷的底座激勵。

　　對于MEMS的多種激勵方法，選擇合適的激勵裝置是非常重要的。安泰超聲功率放大器最大輸出電壓10kV，最大輸出電流64Ap，最大輸出功率10kW，電壓增益數(shù)控可調(diào)，能夠滿足不同的激勵指標(biāo)需求。

　　超聲功率放大器在MEMS超聲測試的工作原理：

　　高頻MEMS核心器件主要是壓電控制器件，利用其壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)來實現(xiàn)機械能和電能的轉(zhuǎn)換，通過壓電控制器件在高頻電信號激勵下產(chǎn)生高頻振動，從而激發(fā)出超聲波，使用壓電控制器件接收超聲波轉(zhuǎn)化成電信號，實現(xiàn)超聲信號的轉(zhuǎn)化。

　　高頻MEMS一般是激振蕩式驅(qū)動，通過方波或者脈沖振動器激勵，由于高頻MEMS需要1MHz以上的電流以及30Vp-p的電壓，而信號發(fā)生器的輸出電壓較低，帶負載能力較弱，所以需要搭配超聲功率放大器來進行實驗測試。

　　安泰推薦：ATA-2041高壓放大器

圖：ATA-2041高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

　　安泰超聲功率放大器還可以利用高電壓、高帶寬等指標(biāo)來驅(qū)動各種高頻MEMS器件，多種功率和激勵波形都可以根據(jù)應(yīng)用需要來進行針對性的定制。此外，超聲功率放大器廣泛應(yīng)用在細胞微粒分選，電場粒子偏轉(zhuǎn)，無線電能傳輸?shù)妊芯款I(lǐng)域，滿足更多更復(fù)雜的測試需求。

　　以上就是安泰電子帶來的超聲功率放大器在MEMS超聲測試中的應(yīng)用內(nèi)容，相信大家對于功率放大器有了一定認識和了解。如果對于功率放大器還有什么不清楚的，歡迎咨詢安泰電子。西安安泰電子是專業(yè)從事功率放大器、高壓放大器、功率信號源、前置微小信號放大器、高精度電壓源、高精度電流源等電子測量儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)。

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